Pastilhas premium

Pastas abrasivas para polimento de wafers de alta qualidade

A Nalco Water fornece sílica coloidal para a indústria de wafers há décadas, e nossa ampla experiência nos permite produzir algumas das pastas de polimento de silício da mais alta qualidade do setor. 

Nossos produtos de sílica coloidal altamente estáveis oferecem pureza excepcional, tamanho controlado de partículas, distribuição e morfologia para um desempenho ideal em seus processos de polimento de wafers de alta qualidade.

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Projetando pastas abrasivas para polimento de wafers para:

Shield with checkmark

Altas taxas de remoção

 

Gears with arrows

Desempenho estável

 

Arrow pointed down in circle.

Baixa defectividade

 

Disinfection Icon
Excelente acabamento superficial e planaridade


Pastas abrasivas de sílica coloidal prontas para uso para polimento de wafers de silício

  • Tamanho (nm): 60 
  • pH: 11 
  • Estabilização: Na+

  • Tamanho (nm): 60 
  • pH: 8,5 
  • Estabilização: Na+

  • Tamanho (nm): 85 
  • pH: 11 a 12 
  • Estabilização: NH4 
  • Observação: aditivo quelante

  • Tamanho (nm): 85 
  • pH: 11 a 12 
  • Estabilização: NH4 
  • Observação: alta taxa de remoção de Si. Perigoso.

  • Tamanho (nm): 120
  • Área em m2/gm: 25
  • Porcentagem de sólidos: 47
  • pH: 9 a 10
  • Estabilização: K+

Chemical Mechanical Planarization

Lidando com várias aplicações de polimento

Nossas pastas de polimento à base de sílica coloidal são amplamente utilizadas para as etapas de polimento de base, polimento de arestas e polimento final na fabricação de wafers de silício e outros substratos semicondutores para microchips.

Essas pastas abrasivas também são usadas no acabamento preciso da superfície de componentes ópticos, cristais para cobertura de relógio e outros componentes de vidro.

nanoparticlesforpolishing

Inovando para as necessidades dos formuladores de pasta para CMP

A Nalco Water alinhou seus recursos de produção de sílica coloidal para fornecer nanopartículas inovadoras de alta pureza e atender às necessidades do formulador de pasta para CMP.

  • Nanopartículas à base de vidro solúvel de pureza extremamente alta
  • Ampla faixa de tamanhos de partícula, distribuições por tamanho e concentrações
  • Produtos projetados para serem estáveis em uma ampla gama de pH
  • Forte colaboração em pesquisa.
Core Technologies_550x310.jpg

A Nalco Water é líder em sílica coloidal

  • Primeiro processo de fabricação patenteado de sílica coloidal em 1941
  • Uma das maiores fabricantes de sílica coloidal do mundo
  • Equipes de PD&E inovadoras para o desenvolvimento de produtos personalizados
  • Produtos projetados para eficiência, qualidade e controle da fabricação
  • Entre em contato com nossos especialistas em tecnologias coloidais

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Referências

  1. Os produtos foram feitos usando a abordagem de LMSII projetado para remover metais; [Cu] e [Ni] com menos de 20 ppb. Disponibilidade sujeita ao volume. ↵