Silicon wafer production on automated robotic arm

Fábrica de semicondutores reduz o consumo de água, os custos e o impacto ambiental por meio de melhoria de visibilidade da operação da água de resfriamento de processo (PCW)

A situação

Uma grande fábrica de semicondutores dos EUA estava enfrentando uma variedade de desafios operacionais em seus circuitos de água de resfriamento de processo (PCW, na sigla em inglês), o que afetava negativamente a fábrica de diversas maneiras:

DESAFIO

RESULTADO

IMPACTO

 

Vazamentos de água não detectados

  • Dificuldade de manter os níveis corretos de tratamento químico
  • Alto uso de água de reposição
  • Dano potencial por corrosão nas ferramentas no circuito de PCW
  • Risco potencial de formação de biofilme em superfícies de troca de calor
  • Excedendo o orçamento de tratamento
  • Uso excessivo de água, altos custos de água

 

Visibilidade insuficiente das condições da PCW

  • Dificuldade para reunir informações suficientes para justificar a ação
  • Capacidade limitada de conectar os problemas de PCW a outras questões críticas da fábrica
  • Potencial para problemas não resolvidos prejudicarem o tempo de atividade e a confiabilidade da fábrica

 

Descarga descontrolada de água

  • Descarga excessiva de azol
  • Preocupação das estações de tratamento públicas locais (POTW, na sigla em inglês) com o impacto em suas operações


Os gerentes de serviços públicos da fábrica suspeitavam de vários desses problemas, mas não dispunham de dados convincentes para diagnosticar e quantificar o impacto dos problemas. Isso tornou difícil para a fábrica priorizar a resolução de problemas e a ação corretiva.

 


Solução

A fábrica implementou um programa de tratamento da Nalco Water para ajudar a gerenciar seu sistema de PCW. Para gerenciar a qualidade da água nos ciclos de PCW, um programa 3D TRASAR™ foi introduzido com os seguintes recursos:

  • Rastreador inerte para monitorar perdas de água, que são comuns em sistemas de PCW
  • Medição da corrosão em tempo real para confirmar o desempenho do controle de corrosão
  • Medição em tempo real de pH e condutividade para detectar vazamentos no processo

Logo após a inicialização, dados do controlador 3D TRASAR revelaram, pela primeira vez, vazamentos de água ocorrendo nos ciclos de PCW.

Com base na taxa de decaimento do rastreador inerte por um período específico e no volume conhecido dos ciclos, foi possível realizar um cálculo preciso da perda de água. Antes disso, a única indicação de perda de água era a posição na válvula da água de reposição para os ciclos.

A seguir, a equipe de gestão de serviços públicos da fábrica e os proprietários das ferramentas receberam recursos para identificar onde os vazamentos estavam ocorrendo, para que os proprietários das ferramentas pudessem tomar as medidas apropriadas para a solução do problema. A seguinte abordagem foi usada:

  1. Um rastreador fluorescente especializado adicional foi adicionado aos ciclos de PCW e medido em um comprimento de onda diferente para distinguir do produto químico de tratamento.
  2. Os proprietários das ferramentas receberam canetas fluorométricas para verificar cada ralo do piso. Esse teste foi criado para ser rápido, simples e confiável, possibilitando a detecção rápida sem exigir conhecimento aprofundado do operador.
  3. Se o rastreador fosse detectado, a equipe de instalações e os proprietários das ferramentas seriam notificados. Na maioria dos casos, os vazamentos foram prontamente resolvidos. A detecção do rastreador no dreno de um conjunto de ferramentas permitiu que conjuntos específicos fossem o foco de investigações adicionais. Trocadores de calor associados àquele conjunto de ferramentas foram verificados, incluindo teste de pressão e substituição do trocador quando necessário.

O rastreador inerte nessa aplicação foi escolhido por várias características específicas:

CARACTERÍSTICA DO RASTREADOR

BENEFÍCIO PARA A APLICAÇÃO DE DETECÇÃO DE VAZAMENTO

Funciona em um espectro diferente do usado no produto químico de tratamento do ciclo de PCW

Medição distinta sem interferir no programa de tratamento do ciclo de PCW

A resposta é independente do pH e da temperatura

Nenhuma condição especializada necessária para medição; ampla aplicação

A resposta está em uma região de fundo muito baixa do espectro

Oferece visibilidade em uma região do espectro em que outros interferentes potenciais seriam raros

A resposta é forte em baixa concentração

Um pouco ajuda muito: a detecção é uma condição simples de sim/não

Rápido, preciso e fácil de usar

A caneta rastreadora não exige habilidades avançadas do operador


Resultados

Esse trabalho rendeu várias melhorias significativas para a fábrica:

Reduzir vazamentos de água dos ciclos de PCW economizou aproximadamente 10,9 milhões de galões de água por ano.

Os níveis de azol nos efluentes da fábrica foram reduzidos em 64%, uma queda de 7.260 libras. Isso aliviou as preocupações das estações de tratamento públicas locais (POTW) em relação às concentrações de azol recebidas.

O programa estabilizou os produtos químicos no sistema de PCW da fábrica, o que reduziu seu risco de corrosão e a demanda por atenção operacional no local. Como resultado, os recursos de mão-de-obra da equipe e do fornecedor puderam ser realocados para tarefas de mais valor.

A combinação de redução de gasto de produtos químicos e custo operacional de UPW gerou economias líquidas de mais de US$ 674.000 por ano. Esse esforço em equipe também deu à fábrica uma estrutura interna para manter os ganhos de agora em diante.

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eROI by Ecolab logo

Economia anual

  • Water eROI icon

    Água
    10,9 milhões de galões

    (41,3 milhões de litros) por ano

  • eROI Cost icon

    Custo
    US$ 674.000*

    por ano

  • eROI Greenhouse gas emissions Icon

    Responsabilidade ambiental

    64% por ano*

    Redução de descarga de azol 

  • Valor total fornecido:
    US$ 674.000 por ano

*Dados fornecidos por clientes

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